用于半導體器件,分立器件,光電子器件,電力電子器件及大規模集成電路制造等領域對晶片進行擴散,氧化,退火,合金及燒結等工藝,可用于 8-12 英寸工藝尺寸。
控溫精度高,溫度穩定; 高速搬送系統; 精密熱磁場控制,氣體高精度控制系統; 工藝周期短,生產效率高。
主要技術指標:
● 恒溫區長度:300-1100mm
● 控溫精度 800-1286℃±0.5℃
※ 賽瑞達可為用戶量身定制產品和解決方案控制系統特點: