● 裝載量:最大2000片/管
● 管數:5管/6管
● 壓力控制:PLC和PC工控機
● 通訊:Melsec, MES, I/O, SECS-II等
● 自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案
● 方阻值:70-200 Ω/cm2
● 工藝壓力:50-100torr
● 方阻均勻性:<5%(片內/片間/批間)
● N型摻雜多晶硅:POCl3
● P型摻雜多晶硅:BCl3
● 產量:4000片晶圓/小時
● 恒溫區長度:>2000mm
● 溫區數量:5個溫區
● 最高溫度:1050℃
● 溫度均勻性: +/- 0.5℃
● 晶圓裝載法:碳化硅槳軟著陸
● 槳的最大承重:20KG
● 工藝腔和舟的材質:石英