技術指標
● 硅片尺寸:166mm-230mm
● 單管裝載量:432pcs
● 設計產能:≥3500片/小時
● 膜厚均勻性:≤5%(片內,片間,批間)
● 工作溫度:≤700℃
● 溫區精度:≤±1℃
● 工藝種類:SiOx,AlOx,SiNx
● 控制:全進口自動壓力閉環調節系統,精準控制反應真空; 40KHz AE 高頻電源;工藝舟軟著陸;全數字式控制,完善安全的過程控制保護。
● 5管/6管/10管可選