石墨烯薄膜產業化設備
寬幅卷對卷連續生長
APC系統;真空蝶閥自動控制
碳源等工藝氣體MFC控制
薄膜制備過程全自動控制
三腔室結構
工作溫度:1020-1050℃
恒溫區:1000mm、五段控溫
工藝管材質:石英管
工藝管內徑:Φ250mm
銅箔寬度:200mm
銅箔運行速度約:100-400mm/min,可調
極限真空度:小于3Pa,可恒壓控制