■ 設備系統簡介
◆ 結構型式:臥式,單管或多管系統自動控制
◆ 適應晶體尺寸:2-8"
◆ 送取片方式:自動懸臂石英推拉舟,配合手動取、
放片方式。
◆ 最高溫度:1000℃
◆ 工作溫度:400℃~850℃連續可調
◆ 單點溫度穩定性:400℃~850℃≤±1 ℃/24h
◆ 系統極限真空度:優于3 Pa
◆ 抽速:抽至極限真空時間<15Min。
◆ 工作壓力范圍:100-760 Torr連續可調
◆ 供電電源:三相五線380V±10%,50Hz
◆ 冷卻水:2~4Kgf/c㎡,8L/min;